扩膜机RXM-DE1080T技术协议

一、主要技术参数

1. .设备为8寸台式设备，采用双控一键式扩膜方式，并配有有机玻璃保护罩使用

触摸屏进行参数设定。

2. .适用于8寸及以下晶圆的扩膜工艺。
3. .适用于8寸DISCO标准贴片环，8寸尼龙环（尼龙环使用鼎满标准10寸尼龙环）；
4. .设备的扩膜误差:扩张外径±2mm（扩张切割槽±5μm），设备扩张行程：10-70mm；
5. .设备为向下扩张方式，扩张速度由气缸调速阀调整；
6. .扩膜盘配置加热装置，加热范围：室温～80℃，连续可调；控温精度：≤±2℃。
7. .标准用膜为扩膜专用蓝膜或UV膜。
8. .设备配有承接盘，后板配置一个外排风扇，并安装向下排放方式的转接部件；
9. .设备外形尺寸约: 长×宽×高： 900mm×900mm×1800mm，重量约：100kg。
10. .设备使用AC220V/50Hz电源，额定功率约：1.2KW。
11. .设备需配置0.4-0.7Mpa压缩空气。

二、设备照片