产 品 介 绍

• 产品名称：12寸自动二流体清洗机(RXM-CS1120-F)
• 技术规格： 

三、产品特点：

1.外观简洁大方,整机采用PLC系统控制，易于操作，性能稳定；

2.功能：通过喷洒出微小且高压力的纯净水将切割后的晶圆清洗干净。

3.通过更改参数自动适应3、4、5、6、8、12英寸的晶圆以及其它半导体产品；

4.适用于非标方形铁片环使用。

5.出水压力可调，范围：2.0~11.8MPa（20 ~ 120 kgf/cm2）；

6.主电机采用AC变频电机，摆臂电机采用伺服电机。

7.可分开调节喷水和喷气时主轴旋转速度，范围：0~3000 rpm；

8. 采用彩色触摸屏作为人机操作界面；

9.喷头喷洒范围可自动根据设定的晶圆大小调节，无需人工干预；

10.具有气体压力和出水压力调节功能；

11.具有氮气输入接口；

12.具有“紧急停止”功能；

13.具有系统运行状态监控和设备故障报警功能；

14.适应框架（Frame）：非标方形Frame（客户提供样品）

15.电器部分采用SMC、, Misumi、西门子、三菱等国外知名品牌产品，系统可靠；

• 产品功能：

1.二流体的主要功能是氮气加纯水清洗，清洗后用氮气甩干。

  2.二流体的工作原理：?主要有清洗和甩干两个功能、?清洗方式是氮气加纯水混合清洗，气和水的混合比例是可以调节、?甩干是用氮气吹干。

五:产品功能照片介绍：

★ 二流体自动清洗机是上海日鑫茂流体控制系统有限公司自行研发及制造，相对于昂贵的进口产品,在价格方面有着绝对优势。强大的研发团队；合理的设计；让设备的使用更人性化,更简洁化；且设备中所涉及到的电器配件均采用进口以及国内优质产品，更好的保障了设备在使用过程中的出色与安全。