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8寸手动揭膜机

8寸手动揭膜机RXM-SM1080

 

一、技术参数:

项目

技术参数

备注

外形尺寸

8200mm(D)*398mm(W)*4200mm(H

 

适用晶圆尺寸

8inch 及8inch以下

 

晶圆定位方式

平边定边或者圆边缺口定位

 

适用膜类型

单层膜或者双层膜

 

适用膜尺寸

宽度≤300mm

 

台面加热温度范围

常温~78℃

 

防静电措施

台盘采用防静电特氟龙处理,

 

晶圆取放方式

手动取放

 

揭膜效果

手动撕膜,撕膜不得破损芯片

 

电源

AC220V 50HZ

 

压缩空气

0.4~0.7Mpa

 

设备使用材料品牌

欧姆龙;SMC等国外知名品牌

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

二、产品介绍:

1. 无气泡快速撕膜;     

      2.工作台面经过特氟龙处理,确保wafer在撕膜过程中无损伤;

      3. 加热范围:常温~78摄氏度,可调,控温精度:±2摄氏度

  4.可选配离子风扇(ESD,去除静电(离子风扇不含在设备报价内);

     5. 电器部分采用SMC、欧姆龙、三菱、天逸等知名品牌;

三、 照片介绍

      1.设备整体外形照片

★ 撕膜机是上海日鑫茂流体控制系统有限公司自行研发及制造,相对于昂贵的进口产品,在价格方面有着绝对优势。强大的研发团队;合理的设计;让设备的使用更人性化,更简洁化;且设备中所涉及到的电器配件均采用进口产品,更好的保障了设备在使用过程中的出色与安全。

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