上海日鑫茂流体控制系统有限公司
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6寸手动揭膜机RXM-SM1060
一、技术参数:
项目 |
技术参数 |
备注 |
外形尺寸 |
780mm(D)*398mm(W)*360mm(H) |
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适用晶圆尺寸 |
6inch 及6inch以下 |
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晶圆定位方式 |
平边定边或者圆边缺口定位 |
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适用膜类型 |
单层膜或者双层膜 |
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适用膜尺寸 |
宽度≤230mm |
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台面加热温度范围 |
常温~78℃ |
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防静电措施 |
台盘采用防静电特氟龙处理, |
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晶圆取放方式 |
手动取放 |
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揭膜效果 |
手动撕膜,撕膜不得破损芯片 |
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电源 |
AC220V 50HZ |
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压缩空气 |
0.4~0.7Mpa |
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设备使用材料品牌 |
欧姆龙;SMC等国外知名品牌 |
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二、产品介绍:
1. 无气泡快速撕膜;
2.工作台面经过特氟龙处理,确保wafer在撕膜过程中无损伤;
3. 加热范围:常温~78摄氏度,可调,控温精度:±2摄氏度;
4.可选配离子风扇(ESD),去除静电(离子风扇不含在设备报价内);
5. 电器部分采用SMC、欧姆龙、三菱、天逸等知名品牌;
三、 照片介绍
1.设备整体外形照片
★ 揭膜机是上海日鑫茂流体控制系统有限公司自行研发及制造,相对于昂贵的进口产品,在价格方面有着绝对优势。强大的研发团队;合理的设计;让设备的使用更人性化,更简洁化;且设备中所涉及到的电器配件均采用进口产品,更好的保障了设备在使用过程中的出色与安全。
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